Chiny rozpoczęły produkcję własnych immersyjnych maszyn litograficznych DUV, wykorzystywanych do wytwarzania układów scalonych. Pierwsze urządzenia mają jeszcze w 2026 roku trafić do największych chińskich producentów półprzewodników.
Jak podał w poniedziałek Reuters, powołując się na serwis „The Information”, maszyny zostały opracowane przez wspierane przez państwo przedsiębiorstwo z Szanghaju. Nazwa producenta nie została ujawniona.
W 2026 roku ma powstać około pięciu urządzeń, natomiast w 2027 roku ich produkcja ma wzrosnąć do około 20 egzemplarzy. Pierwszymi odbiorcami mają być Semiconductor Manufacturing International Corporation, czyli SMIC, Hua Hong Semiconductor oraz producent pamięci ChangXin Memory Technologies.
Maszyny wykorzystują technologię immersyjnej litografii głębokiego ultrafioletu, określaną skrótem DUV. Pozwala ona nanosić na płytki krzemowe wzory tworzące układy elektroniczne. Segment immersyjnych maszyn DUV jest obecnie zdominowany przez holenderską spółkę ASML, a jej mniejszym konkurentem pozostaje japoński Nikon.
Chińskie urządzenia mają nadal ustępować maszynom ASML pod względem precyzji, niezawodności oraz wydajności. Rozpoczęcie ich produkcji może jednak ograniczyć zależność chińskich fabryk od dostaw sprzętu z Holandii i Japonii.
Ma to szczególne znaczenie w związku z ograniczeniami eksportowymi nakładanymi przez Stany Zjednoczone i ich sojuszników. Chiny nie mogą legalnie kupować od ASML maszyn wykorzystujących bardziej zaawansowaną litografię ekstremalnego ultrafioletu, określaną skrótem EUV. Waszyngton zabiega również o ograniczenie sprzedaży i serwisowania w Chinach nowoczesnych urządzeń DUV.
Maszyny DUV mogą być wykorzystywane do produkcji zaawansowanych procesorów dzięki wielokrotnemu nanoszeniu wzorów. Proces ten wymaga jednak większej liczby etapów, podnosi koszty i może zmniejszać odsetek sprawnych układów.
Informacja o rozpoczęciu chińskiej produkcji wywołała spadki notowań europejskich producentów sprzętu dla przemysłu półprzewodnikowego. Akcje ASML traciły w poniedziałek ponad 7 proc. Spadały również notowania BE Semiconductor Industries, Soitec i Infineon Technologies. ASML odmówił komentarza w sprawie chińskich maszyn.
Jak informowały Kresy.pl, w czerwcu pojawiły się również doniesienia, że administracja USA podejrzewała, iż do Chin mogła trafić jedna z objętych zakazem eksportu maszyn EUV firmy ASML. Chodziło wtedy o sprzęt znacznie bardziej zaawansowany niż produkowane obecnie przez Chiny maszyny DUV.
Holenderski koncern stanowczo zaprzeczył, by kiedykolwiek dostarczył Chinom maszynę EUV albo jakikolwiek komponent, moduł lub urządzenie zaprojektowane specjalnie do wykorzystania w takim systemie. Amerykańskie władze nie przedstawiły publicznie dowodów potwierdzających te podejrzenia.
Uruchomienie krajowej produkcji DUV nie oznacza jeszcze, że Chiny stworzyły odpowiednik ASML. Stanowi jednak istotny krok w realizowanym przez Pekin programie uniezależniania przemysłu półprzewodnikowego od zachodnich technologii i dostawców.
Czytaj też: Holenderski wywiad uznał Chiny za główne zagrożenie dla bezpieczeństwa gospodarczego
Kresy.pl / Reuters






























